真空炉炉膛内的压力能抽成低於大气压力的工业炉。真空炉用电加热﹐被加热的工件外表不氧化﹐不脱碳﹐变形小﹐机械性能好。用真空炉熔炼金属有利於除去杂质﹐成品针孔少﹐偏析小﹑质量好。真空炉适用於高质量﹑高纯度﹑难熔金属的熔炼和加热﹐例如用於钨﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐热合金钢的锻炼和磁性资料﹐电工资料﹑高强钢﹑不锈钢﹑工具钢﹑模具钢等的热处理。真空炉呈现於20世纪30年代前后。1927年美国製成电工资料真空退火炉。1953年真空自耗电弧炉在工业上已用於熔炼海绵鈦。50年代前后真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年美国研製成油淬真空炉。

真空炉一般由炉膛﹑电热设备﹑密封炉壳﹑真空体系﹑供电体系和控温体系等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封资料密封。为防止炉壳受热后变形和密封资料受热变质﹐炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位於密封炉壳内。根据炉子用途﹐炉膛内部装有不同类型的加热元件﹐如电阻﹑感应线圈﹑电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩堝﹐有的还装有主动浇注设备和装卸料的机械手等。真空体系主要由真空泵﹑真空阀门和真空计等组成。

二十世纪50年代，无芯感应炉得到迅速发展。后来又呈现了电子束炉，使用电子束来冲击固态燃料，能强化外表加热和熔化高熔点的资料。用于铸造加热的炉子Z早是手锻炉，其工作空间是一个凹形槽，槽内填入煤炭，焚烧用的空气由槽的下部供入，工件埋在煤炭里加热。这种炉子的热效率很低，加热质量也不好，而且只能加热小型工件，以后发展为用耐火砖砌成的半关闭或全关闭炉膛的室式炉，能够用煤，煤气或油作为燃料，也可用电作为热源，工件放在炉膛里加热。

为便于加热大型工件，又呈现了适于加热钢锭和大钢坯的台车式炉，为了加热长形杆件还呈现了井式炉。20世纪20年代后又呈现了能够进步炉子生产率和改进劳动条件的各种机械化、主动化炉型。工业炉的燃料也跟着燃料资源的开发和燃料转化技能的进步，而由采用块煤、焦炭、煤粉等固体燃料逐步改用发生炉煤气、城市煤气、天然气、柴油、燃料油等气体和液体燃料，并且研发出了与所用燃料相适应的各种焚烧设备。